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发明名称 ELECTRODE STRUCTURE AND METHOD OF MAKING FOR FERROELECTRIC CAPACITOR INTEGRATED ON SILICON
摘要
申请公布号 EP0972293(A4) 申请公布日期 2002.07.24
申请号 EP19960945201 申请日期 1996.12.17
申请人 TELCORDIA TECHNOLOGIES, INC.;THE UNIVERSITY OF MARYLAND 发明人 DHOTE, ANIL, M.;RAMESH, RAMAMOORTHY
分类号 H01L27/04;H01G2/06;H01G4/33;H01L21/02;H01L21/285;H01L21/822;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/10;H01L27/105;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/02;H01L27/115 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
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