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发明名称 METHOD OF OBTAINING SILICON STRUCTURES
摘要
申请公布号 PL311358(A1) 申请公布日期 1997.05.26
申请号 PL19950311358 申请日期 1995.11.14
申请人 INSTYTUT TECHNOLOGII ELEKTRONOWEJ 发明人 ADAMCZYK BEATA;GRABIEC PIOTR;KORYCINSKI JANUSZ;STUDZINSKA KRYSTYNA;ZABOROWSKI MICHAL
分类号 C01B33/00;H01L21/02;H01L21/70;(IPC1-7):C01B33/00 主分类号 C01B33/00
代理机构 代理人
主权项
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