发明名称 Micro electrical mechanical system
摘要
申请公布号 GB0213713(D0) 申请公布日期 2002.07.24
申请号 GB20020013713 申请日期 2002.06.14
申请人 CSEM CENTRE SUISSE D'ELECTRONIQUE ET DE MICROTECHNIQUE S.A 发明人
分类号 G02B26/08 主分类号 G02B26/08
代理机构 代理人
主权项
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