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发明名称 AFM CANTILEVER
摘要
申请公布号 JPH09178763(A) 申请公布日期 1997.07.11
申请号 JP19950350044 申请日期 1995.12.25
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD 发明人 TAKAYAMA MICHIO
分类号 G01B7/34;G01B7/00;G01B21/30;G01N37/00;G01Q60/38;H01J37/28;(IPC1-7):G01N37/00 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
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