发明名称 |
AUTOMATIC ADJUSTMENT JIG FOR MCF VAPOR-DEPOSITION |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH09260986(A) |
申请公布日期 |
1997.10.03 |
申请号 |
JP19960070286 |
申请日期 |
1996.03.26 |
申请人 |
ADVANTEST CORP |
发明人 |
WAKAMOTO SATORU;SAKIYAMA SHIN;TAKANO MITSUHIRO |
分类号 |
H03H9/19;H03H3/02;H03H9/54;(IPC1-7):H03H3/02 |
主分类号 |
H03H9/19 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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