发明名称 Solid state actuator and its manufacturing method
摘要 <p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Festkörperaktoren, insbesondere Piezoaktoren, wobei Aktorenabschnitte 12, hergestellt werden zwischen diesen Kontaktelektroden vorgesehen werden, wobei erfindungsgemäß die Kontaktelektroden wenigstens eine duktile Schicht, bzw. eine Schicht mit einem Material mit einer Mohs-Härte von weniger als 2,5 vorgesehen wird. <IMAGE></p>
申请公布号 EP1225645(A2) 申请公布日期 2002.07.24
申请号 EP20020001015 申请日期 2002.01.17
申请人 PIEZOMECHANIK GMBH 发明人 DR. PICKELMANN, LUTZ
分类号 H01L41/047;H01L41/083;(IPC1-7):H01L41/083;H01L41/24 主分类号 H01L41/047
代理机构 代理人
主权项
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