摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Festkörperaktoren, insbesondere Piezoaktoren, wobei Aktorenabschnitte 12, hergestellt werden zwischen diesen Kontaktelektroden vorgesehen werden, wobei erfindungsgemäß die Kontaktelektroden wenigstens eine duktile Schicht, bzw. eine Schicht mit einem Material mit einer Mohs-Härte von weniger als 2,5 vorgesehen wird. <IMAGE></p> |