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经营范围
发明名称
VAPOR DEPOSITION APPARATUS
摘要
申请公布号
EP1015658(B1)
申请公布日期
2002.07.24
申请号
EP19980921302
申请日期
1998.05.11
申请人
INCO LIMITED
发明人
WEBER, REINHART;ALBERTY, MICHAEL, RYAN;TYROLER, GEORGE, PAUL;PASSMORE, IAN, KEITH
分类号
C23C16/16;C23C16/01;C23C16/44;C23C16/458;C23C16/46;(IPC1-7):C23C16/16
主分类号
C23C16/16
代理机构
代理人
主权项
地址
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