| 摘要 |
<p>태양전지의 표면에 실리콘과 격자상수가 비슷한 CeO를 증착한후 그 위에 다시 MgF를 증착함으로써, 실리콘계 태양전지의 표면 반사율을 효과적으로 줄일 수 있고, 표면 패시베이션(passivation) 효과를 제공할 수 있는 CeO/MgF이중구조의 태양전지 반사 방지막의 제조방법이 개시되어 있다. 본 발명에 따르면, 태양전지의 표면 상에 세륨(Ce) 금속 타겟을 이용하여 상온 내지 400℃ 온도 범위의 Ar/O분위기에서 스퍼터링하여 CeO층을 일정 두께로 증착하고, 다시 그위에 열증착법 (thermal evaporation)을 이용하여 MgF층을 일정 두께로 증착시킨다. 이렇게 제작된 반사 방지막은 비교적 간단한 제조공정과 낮은 가격으로 인하여 태양전지의 광범위한 실용화에 기여할 수 있고, 태양전지 외에도 저반사율이 필수적인 기타 광학 기기에도 응용이 가능하다.</p> |
