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发明名称 CHEMICALLY AMPLIFIED POSITIVE RESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号 SG90207(A1) 申请公布日期 2002.07.23
申请号 SG20000006974 申请日期 2000.11.27
申请人 SUMITOMO CHEMICAL COMPANY, LIMITED 发明人 YASUNORI UETANI;SEONG-HYEON KIM
分类号 C08F8/12;C08F222/06;C08F232/00;C08K5/00;C08K5/17;C08L45/00;G03F7/004;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/039 主分类号 C08F8/12
代理机构 代理人
主权项
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