发明名称 TEMPERATURE CONTROL SYSTEM
摘要
申请公布号 SG90210(A1) 申请公布日期 2002.07.23
申请号 SG20000007071 申请日期 2000.11.29
申请人 INNOTECH CORPORATION 发明人 MASATO MAEHASHI
分类号 F25D9/00;F25B21/02;F25B25/00;G05D23/19;H01L21/00;H01L21/02;(IPC1-7):G05D23/00 主分类号 F25D9/00
代理机构 代理人
主权项
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