| 发明名称 |
SPUTTER MAGNETRON HAVING TWO ROTATION DIAMETERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG90183(A1) |
申请公布日期 |
2002.07.23 |
| 申请号 |
SG20000005989 |
申请日期 |
2000.10.18 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
MICHAEL ROSENSTEIN;JIANMING FU;LEIF ERIC DE LAURENTIS;JAMES VAN GOGH;ALAN LIU |
| 分类号 |
C23C14/35;C23C14/34;H01J37/34;H01L21/203;H01L21/285;(IPC1-7):H01J37/34 |
主分类号 |
C23C14/35 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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