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发明名称
COMPOSITIONS FOR THE STRIPPING OF PHOTORESISTS IN THE FABRICATION OF INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号
SG90132(A1)
申请公布日期
2002.07.23
申请号
SG20000002277
申请日期
2000.04.25
申请人
ELF ATOCHEM S.A.
发明人
JEAN-PIERRE LALLIER
分类号
G03F7/42;H01L21/027;H01L21/311;(IPC1-7):G03F7/42
主分类号
G03F7/42
代理机构
代理人
主权项
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