| 发明名称 |
Heterojunction compound semiconductor device and method of manufacturing the same |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0622835(B1) |
申请公布日期 |
2002.07.17 |
| 申请号 |
EP19940302364 |
申请日期 |
1994.03.31 |
| 申请人 |
FUJITSU LIMITED |
发明人 |
OGURI, HIROYUKI;YOKOYAMA, TERUO |
| 分类号 |
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/335;H01L21/8252;H01L27/06;H05H1/46;(IPC1-7):H01L21/465;C23F1/12 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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