投影装置的半导体激光光源

摘要

一种投影装置的半导体激光光源,主要适用于激光投影、激光光刻、印刷以及测量等装置。包括由半导体激光组件经与单模光纤耦合输出发散角小、圆对称、已消除象差象散的激光束,再经过准直元件准直,缩束元件缩束至分束元件后,分成两束光,一束光直接输出是较小束径的光束供使用,另一束光再经过扩束元件扩束后,输出一束较大束径的平行光束供使用。与在先技术相比,本发明的结构简单、紧凑合理,操作方便可靠,耦合效率高,耦合效率接近70%。

主权项

1.一种投影装置的半导体激光光源，包括激光束(Go)经过准直元件(3)后再经过缩束元件(4)后，由分束元件(5)分成两束激光(Gf、Gt)，一束激光(Gf)直接输出，另一束激光(Gt)经过扩束元件(7)后输出(Gp)，其特征在于所说的激光束(Go)是由半导体激光组件(1)与单模光纤(2)耦合后输出的，所说的半导体激光组件(1)包括：在管座(112)上支撑外壳(107)内置有带导热片(110)的制冷器(11 1)，在导热片(110)上置有冷却热沉(109)，在冷却热沉(109)上置有半导体激光二极管(113)，支撑外壳(107)突出的窗口与单模光纤(2)输出连接头(201)之间由连接法兰盘(103)连接，连接法兰盘(103)内圈里有金属芯套(102)，在金属芯套(102)内有陶瓷芯套(104)，单模光纤(2)的光纤耦合头(101)伸进连接法兰盘(103)内的陶瓷芯套(104)内，与光纤耦合头(101)衔接的有自聚焦透镜(105)，在半导体激光二极管(113)的发光面与自聚焦透镜(105)之间同光轴地置有准直模块(106)，在准直模块(106)与半导体激光二极管(113)发光面之间置有耦合间隙调节元件(108)。