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发明名称 Method of making an integrated circuit comprising an oxide layer on a GaAs-based semiconductor substrate
摘要
申请公布号 EP0987746(B1) 申请公布日期 2002.07.17
申请号 EP19990307102 申请日期 1999.09.07
申请人 LUCENT TECHNOLOGIES INC. 发明人 HONG, MINGHWEI;KUO, JENN-MING;KWO, JUEINAI RAYNIEN;MANNAERTS, JOSEPH PETRUS;WANG, YU-CHI
分类号 H01L21/26;H01L21/265;H01L21/28;H01L21/336;H01L21/76;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/336 主分类号 H01L21/26
代理机构 代理人
主权项
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