硅基蓝－紫光发光材料及其制备工艺

摘要

本发明涉及一种新型硅基蓝－紫光发光材料及其制备工艺,该发光材料是在单晶硅基片层上设有发光层,在发光层上设有薄膜保护层;其制备工艺是先将单晶硅片在高温加气氛下进行热处理;然后将预处理后的单晶硅片注入离子进行掺杂;再用高能重离子对掺杂硅片进行辐照;本发明的性能稳定且发光效率较高,可发出蓝－紫光;其制备工艺代替了传统工艺。

主权项

1、一种新型硅基蓝—紫光发光材料，其特征在于在单晶硅基片层(1)上设有发光层(2)，在发光层(2)上设有薄膜保护层(3)。