| 发明名称 |
Method for the manufacture of micro structures |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002234603(A1) |
申请公布日期 |
2002.07.16 |
| 申请号 |
AU20020234603 |
申请日期 |
2001.12.21 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
MARKUS SCHMIDT |
| 分类号 |
G03F7/022;G03F7/039;G03F7/40;G03F7/42;G11B5/127;H01L21/027;H01L21/033;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/4763;(IPC1-7):G03F7/40 |
主分类号 |
G03F7/022 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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