| 发明名称 |
DISPLACEMENT MAGNIFYING DEVICE AND MICRO REGION SCANNING DEVICE USING THE DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11248719(A) |
申请公布日期 |
1999.09.17 |
| 申请号 |
JP19980053910 |
申请日期 |
1998.03.05 |
| 申请人 |
SEIKO INSTRUMENTS INC |
发明人 |
HONMA KATSUNORI;MURAMATSU HIROSHI;YAMAMOTO NORITAKA |
| 分类号 |
H01L41/09;G01B7/34;G01N37/00;G01Q10/04;G01Q90/00;G05D3/00;(IPC1-7):G01N37/00 |
主分类号 |
H01L41/09 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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