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发明名称
摘要
申请公布号	JP2002521838(A)	申请公布日期	2002.07.16
申请号	JP20000562940	申请日期	1999.07.29
申请人		发明人
分类号	H01L21/205;H01L21/02;H01L21/285;H01L21/31;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/205	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
主权项
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