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发明名称
摘要
申请公布号
JP2002521780(A)
申请公布日期
2002.07.16
申请号
JP20000561620
申请日期
1999.03.25
申请人
发明人
分类号
G11C11/22;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/105;H01L27/108;(IPC1-7):G11C11/22;H01L21/824
主分类号
G11C11/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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