发明名称 半导体装置和载带及其制造方法、电路基板、电子装置
摘要 提供一种有效地制造半导体装置的方法、利用该方法制造的半导体装置、在该方法中使用的载带及其制造方法、电路基板、电子装置和载带制造装置。该方法包括:准备载带10的工序;载带10的检查工序;接合工序,切断在检查工序中发现的载带10的不良部位28并将其除去,在维持矩阵13的有规则的重复的状态下将载带10接上;以及形成接缝标记的工序,该接缝标记区分在接合工序中形成的接缝21所处的位置的矩阵13。
申请公布号 CN1244028A 申请公布日期 2000.02.09
申请号 CN99111886.3 申请日期 1999.08.02
申请人 精工爱普生株式会社 发明人 桥元伸晃
分类号 H01L21/00;H01L23/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 杨凯;叶恺东
主权项 1.一种载带的制造方法,其特征在于,包括:检查工序,检查具有以矩阵状形成的键合部和至少1种识别标记的载带;接合工序,在除去了在上述检查工序中发现的不良部位所处的位置的部分后,将上述载带接起来;以及形成接缝标记的工序,该接缝标记区分在上述接合工序中形成的接缝所处的位置的矩阵。
地址 日本东京都