| 主权项 |
1.一种洗涤方法,其特征为含有以含有至少一种选自具有溶解度参数为9以上或介电常数为4以上之特性之醇类,乙二醇类,酚类,酮类,脂肪酸及酸酐类,酯类,胺类,醯胺类,4级铵,类,吗类,亚类,磺内酯类,磷酸类及这些的衍生物,N-甲基-2-咯烷酮之成分的极性洗涤剂洗涤被洗涤对象物的步骤;及前述洗涤步骤后,以含有至少一种选自具有溶解度参数为9以下或介电常数为4以下之特性之聚有机基矽氧烷类烃类,全氟碳类,氢氟化碳类,醚类,缩醛类之成分之洗涤剂之清洗步骤中之至少一种步骤。2.如申请专利范围第1项的洗涤方法,其中该极性洗涤剂为具有溶解度参数为9-14或介电常数为4-45特性之极性洗涤剂。3.如申请专利范围第2项的洗涤方法,该极性洗涤剂系混合具有溶解度参数为9-14或介电常数为4-45特性之极性洗涤剂与具有溶解度参数小于9及介电常数为4以下特性之洗涤剂的极性洗涤剂。4.如申请专利范围第1项的洗涤方法,该乾燥步骤为使用具有溶解度参数小于9及介电常数为4以下特性之洗涤剂,进行蒸气乾燥的步骤。5.如申请专利范围第1项的洗涤方法,该乾燥步骤为热风或自然乾燥的步骤。6.如申请专利范围第1项的洗涤方法,系藉由取代蒸气压比前述极性洗涤剂更高的洗涤剂,进行前述乾燥步骤。7.如申请专利范围第1项的洗涤方法,其中烃类为直链状及/或环状的脂肪族烃。8.如申请专利范围第1项的洗涤方法,其中蒸气乾燥步骤系使用至少一种选自,全氟化合物,氢氟化合物,氢氯氟化合物及六甲基二矽氧烷的洗涤剂,进行蒸气乾燥。9.如申请专利范围第8项的洗涤方法,其中蒸气乾燥步骤系使用至少一种选自,全氟化合物及氢氟化合物之洗涤剂的蒸气洗涤。图式简单说明:图1A及图1B系表示本发明的1实施例的被洗涤物的晶体用导线框,图2系表示由本发明的1实施例的复数个的洗涤槽所成的洗涤装置,图3系表示由本发明的1实施例的1个洗涤槽所成的洗涤装置。 |
