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<p>Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren, mit deren Hilfe es möglich ist, dünne Schichten mit nahezu homogener Schichtdicke auf großflächigen Substraten mit relativ hohen Widerständen elektrochemisch abzuscheiden. Bei diesen dünnen Schichten handelt es sich beispielsweise um Metall-, Metalloxid- oder Halbeiterschichten sowie Schichten leitfähiger Polymerer die z.B. auf transparenten Elektroden oder Halbleitersubstraten abgeschieden werden. Die Gegenelektrode zum zu beschichtenden Substrat wird in mehrere Elektrodensegmente aufgeteilt und zwischen jedem einzelnen Elektrodensegment und dem zu beschichtenden Substrat können voneinander verschiedene Spannungen angelegt werden. Dadurch wird eine gute Homogenität der abgeschiedenen dünnen Schichten hinsichtlich Dicke und physikalischer Eigenschaften erreicht.</p> |
