发明名称 Vorrichtung und Verfahren zur Messung der Oberflächenform
摘要 Die Vorrichtung zur Messung der Oberflächenform beinhaltet eine Polarkoordinaten-Umwandlungseinheit zur Umwandlung der Orthogonalkoordinatendaten, welche die Oberflächenform eines Messobjektes darstellen, in Polarkoordinatenwerte, eine Näherungsausdruck-Berechnungseinheit zur Berechnung eines Näherungsausdrucks auf der Basis der Polarkoordinatenwerte unter Einsatz des Zernike-Polynoms, eine Winkelberechnungseinheit zur Berechnung der Winkel, welche die Erzeugungslinienrichtung und Hauptlinienrichtung darstellen, eine erste Näherungsquerschnittsform-Berechnungseinheit zur Berechnung genäherter Querschnittsformen in der Erzeugungslinien- und Hauptlinienrichtung auf der Basis der berechneten Winkel, eine zweite Näherungsquerschnittsform-Berechnungseinheit zur Berechnung der Mittelpunktkoordinaten und Krümmungsradien für die Näherungsquerschnittsformen und eine Querschnittsformwerte-Berechnungseinheit zur Berechnung der numerischen Werte für die Näherungsquerschnittsformen in der Erzeugungslinien- und Hauptlinienrichtung auf der Basis der Mittelpunktkoordinaten und Krümmungsradien.
申请公布号 DE10159666(A1) 申请公布日期 2002.07.11
申请号 DE20011059666 申请日期 2001.12.05
申请人 KABUSHIKI KAISHA SANKYO SEIKI SEISAKUSHO, NAGANO 发明人 SAKAI, HIROSHI
分类号 G01B21/20;(IPC1-7):G01B21/20 主分类号 G01B21/20
代理机构 代理人
主权项
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