Beschichtung optischer Elemente, insbesondere für Verwendung mit Ultraviolettlicht

摘要

Bei einem Verfahren zur Beschichtung optischer Elemente für mit Ultraviolettlicht arbeitende optische Systeme wird die Beschichtung in einer von der evakuierbaren Arbeitskammer (6) einer Beschichtungseinrichtung (2) durchgeführt. Es wird mindestens eine Schleuseneinrichtung (3) bereitgestellt, die eine evakuierbare und wahlweise von der Arbeitskammer abtrennbare oder mit der Arbeitskammer zur Durchführung optischer Elemente verbindbare Schleusenkammer (12) aufweist. Nach Unterbringung von optischen Elementen in der Schleusenkammer können in dieser verschiedene Behandlungsschritte an den zu bedampfenden oder bedampften Elementen durchgeführt werden. Die Behandlung kann insbesondere eine Reinigung mittels Ultraviolettlicht, eine kontrollierte Aufheizung oder Abkühlung und/oder eine Messung mindestens einer optischen Eigenschaft optischer Elemente umfassen. Die Nutzung von Schleusenkammern zur Vor- oder Nachbehandlung optischer Elemente unmittelbar vor oder nach einer Beschichtung erlaubt eine bessere Kontrolle des Beschichtungsprozesses und eine Fertigung beschichteter Elemente höchster Qualität bei minimalen Gesamtprozeßzeiten.