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发明名称
Verfahren zur Herstellung eines pyroelektrischen Infrarot-Detektors
摘要
申请公布号
DE69331532(T2)
申请公布日期
2002.07.11
申请号
DE19936031532T
申请日期
1993.10.20
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.
发明人
FUJII, SATORU;TAKAYAMA, RYOICHI;TOMITA, YOSHIHIRO;OKANO, MASAYUKI;TORII, HIDEO
分类号
G01J1/02;G01J5/02;G01J5/34;H01L37/02;(IPC1-7):H01L37/02
主分类号
G01J1/02
代理机构
代理人
主权项
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