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发明名称 Chemisch sensibilisierte Resistzusammensetzung
摘要
申请公布号 DE69708220(T2) 申请公布日期 2002.07.11
申请号 DE1997608220T 申请日期 1997.07.22
申请人 TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 发明人 OOMORI, KATSUMI;HADA, HIDEO;KANEKO, FUMITAKE;SATO, MITSURU;SATO, KAZUFUMI;NAKAYAMA, TOSHIMASA
分类号 G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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