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发明名称
摘要
申请公布号
JP3132535(B2)
申请公布日期
2001.02.05
申请号
JP19930100301
申请日期
1993.04.02
申请人
发明人
分类号
H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108;H01L21/824
主分类号
H01L27/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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