| 摘要 |
<p>Um die Zykluszeiten für das Zusammenfügen von wenigstens zwei Substraten (3, 4) zum Bilden eines optischen Datenträgers in einer Unterdruckkammer (8) zu verkürzen, sieht die vorliegende Erfindung ein Verfahren und eine Vorrichtung vor, bei dem bzw. bei der einer Öffnung (11) der Unterdruckkammer (8) gegenüber der Umgebung abgedichtet wird, die Unterdruckkammer abgepumpt wird, eine Übergabekammer (64) zwischen einer in der Unterdruckkammer angeordneten ersten Handhabungsvorrichtung (16) und einer außerhalb der Unterdruckkammer angeordneten zweiten Handhabungsvorrichtung (24), durch jeweiliges abdichten der Öffnung (11) der Unterdruckkammer (8), gebildet wird, wobei die Übergabekammer (64) ein kleineres Volumen als die Unterdruckkammer (8) aufweist, die Substrate (3, 4) in der Übergabekammer (64) von der zweiten Handhabungsvorrichtung (24) zu der ersten Handhabungsvorrichtung (16) übergeben werden, die Substrate (3, 4) mit der ersten Handhabungsvorrichtung (16) zu einer Zusammenfügstation (14) in der Unterdruckkammer transportiert werden, und zwar bei durch die zweite Handhabungsvorrichtung (24) abgedichteter Unterdruckkammer, und die Substrate (3, 4) in der Zusammenfügstation (14) zusammengefügt werden.</p> |
