| 发明名称 |
Verfahren zum Detektieren von Kristalldefekten in Silizium-Einkristallsubstraten |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69712955(D1) |
申请公布日期 |
2002.07.11 |
| 申请号 |
DE19976012955 |
申请日期 |
1997.03.18 |
| 申请人 |
SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. |
发明人 |
MAJIMA, MASAKI |
| 分类号 |
G01N21/88;C30B33/00;G01N1/32;G01N21/956;H01L21/66;(IPC1-7):C30B33/00 |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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