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发明名称 ANTIREFLEXBESCHICHTUNG FÜR PHOTORESISTZUSAMMENSETZUNGEN
摘要
申请公布号 DE69709140(T2) 申请公布日期 2002.07.11
申请号 DE1997609140T 申请日期 1997.09.26
申请人 CLARIANT FINANCE (BVI) LTD., ROAD TOWN 发明人 MCCULLOCH, IAIN;DAMMEL, R.;CORSO, J.;DING, SHUJI;DURHAM, L.;LU, PING-HUNG;KANG, MING;KHANNA, N.
分类号 G03F7/004;C08F16/26;C08F18/04;C08F20/30;C08F20/58;C08F26/06;G03C1/835;G03F7/09;G03F7/11;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/09 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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