| 发明名称 |
Verfahren zur Herstellung einer halbleitenden Anordnung und einer Halbleiterscheibe |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69526895(D1) |
申请公布日期 |
2002.07.11 |
| 申请号 |
DE1995626895 |
申请日期 |
1995.10.02 |
| 申请人 |
NEC CORP., TOKIO/TOKYO |
发明人 |
KATA, KEIICHIRO;CHIKAKI, SHINICHI |
| 分类号 |
H01L21/60;H01L21/78;H01L23/12;H01L23/485;(IPC1-7):H01L21/768;H01L23/498 |
主分类号 |
H01L21/60 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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