| 发明名称 |
Herstellungsverfahren für selbstjustierende lokale Zwischenverbindung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69901657(D1) |
申请公布日期 |
2002.07.11 |
| 申请号 |
DE19996001657 |
申请日期 |
1999.03.08 |
| 申请人 |
SHARP K.K., OSAKA;SHARP MICROELETRONICS TECHNOLOGY, INC. |
发明人 |
HSU, SHENG TENG |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L21/768;H01L21/8238;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/823 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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