| 主权项 |
1.一种将目标物体与狭缝进行对准之设备,该设备 至少包含一放置在靠近狭缝附近之可转移位置感 应器,其中该可转移位置感应器可判定目标物体相 对于狭缝位置进行移动之位置。2.如申请专利范 围第1项所述之设备,其中上述被对准之该目标物 体为一终端受动器。3.如申请专利范围第1项所述 之设备,其中上述被对准之该目标物体为一基板。 4.如申请专利范围第1项所述之设备,其中上述之该 可转移位置感应器至少包含一拥有可被目标物体 打断光束之感应器。5.如申请专利范围第1项所述 之设备,其中上述之该目标物体可在与狭缝对准后 穿越该狭缝,该装置更包含一可经由该狭缝通过该 目标物体之可转移元件。6.如申请专利范围第1项 所述之设备,其中上述被储存之目标物体设定是储 存于记忆体中,所储存之该目标物体设定是用来判 定目标物体之位置。7.一种可将一终端受动器与 基板进行对准之设备,至少包含: 一终端受动器,相对于该基板放置; 一角度判定元件,用以判定该基板相对于该终端受 动器之补偿角度; 一可旋转元件,绕着与该基板相关之该终端受动器 旋转以补偿该补偿度;以及 一支撑元件,支撑该基板与该终端受动器。8.如申 请专利范围第7项所述之设备,更包含: 一可转移元件,移动该终端受动器至靠近狭缝附近 ,其中该可转移元件遵循平行于该狭缝宽度之方向 移动该终端受动器直到该基板触发一感应器。9. 如申请专利范围第7项所述之设备,更包含一可转 移元件遵循穿越该狭缝之方向来移动该终端受动 器。10.如申请专利范围第7项所述之设备,其中该 角度判定元件至少包含多个邻近阵列感测器。11. 如申请专利范围第7项所述之设备,其中该角度判 定元件至少包含多个距离感测器。12.一种可将一 终端受动器与基板进行对准之设备,该设备至少包 含: 一终端受动器,相对于该基板放置; 一角度判定元件,用以判定该基板相对于该终端受 动器之补偿角度; 一支撑元件,于一补偿角度支撑该基板与该终端受 动器;以及 一可旋转元件,绕着与该基板相关之该终端受动器 旋转以反应该补偿角度。13.如申请专利范围第12 项所述之设备,更包含: 一可转移元件,转移该终端受动器至靠近狭缝附近 ,其中该可转移元件遵循平行于该狭缝宽度之方向 移动该终端受动器直到该基板触发一感应器。14. 如申请专利范围第12项所述之设备,其中该可转移 元件遵循实质上垂直于该狭缝之方向来移动该终 端受动器直到该基板完全穿越该狭缝。15.如申请 专利范围第12项所述之设备,其中该角度判定元件 至少包含多个邻近阵列感测器。16.如申请专利范 围第12项所述之设备,其中该角度判定元件至少包 含多个距离感测器。17.一种设备,其至少包含: 一机器人元件,绕着旋转接合器转动,该机器人元 件拥有一终端受动器,且其中当基板对准于该旋转 接合器下和基板并无对准于该旋转接合器下,该机 器人元件均能将终端受动器与该基板进行对准。 18.如申请专利范围第17项所述之设备,其中该机器 人元件至少包含多个由旋转接合器连接一起之手 臂机制。19.如申请专利范围第17项所述之设备,该 机器人元件更包含一机器人基座以迫使遵循该机 器人行进路径。20.一种将目标物体与狭缝进行对 准之方法,该方法至少包含: 放置一可转移位置感应器于狭缝侧面之规定距离 上;以及 使用该可转移位置感应器感应该目标物体相对于 该狭缝移动之位置。21.如申请专利范围第20项所 述之方法,其中上述被对准之该目标物体为一终端 受动器。22.如申请专利范围第20项所述之方法,其 中上述被对准之该目标物体为一基板。23.如申请 专利范围第20项所述之方法,其中上述之该可转移 位置感应器至少包含一于感应位置步骤中拥有可 被目标物体打断光束之感应器。24.如申请专利范 围第20项所述之方法,其中上述之该目标物体假如 与狭缝对准,被设定成可穿越该狭缝,该方法更包 含将该目标物体经由狭缝通过。25.如申请专利范 围第20项所述之方法,其中上述被储存之目标物体 设定是储存于记忆体中,该方法更可将所储存之该 目标物体设定利用于感应位置步骤中。26.一种可 将一终端受动器与一基板进行对准之方法,该方法 至少包含: 放置这终端受动器,相对于该基板; 判定该基板相对于该终端受动器之补偿角度; 绕着与该基板相关之该终端受动器旋转以补偿该 补偿角度;以及 支撑该基板与该终端受动器。27.如申请专利范围 第26项所述之方法,更包含: 放置该终端受动器于靠近狭缝附近;以及 移动该终端受动器遵循平行于该狭缝之方向直到 该基板触发一感应器。28.如申请专利范围第26项 所述之方法,更包含遵循实质上垂直于该狭缝之方 向来移动该终端受动器直到该基板完全穿越该狭 缝。29.一种可将一终端受动器与一基板进行对准 之方法,该方法至少包含: 放置该终端受动器,相对于该基板; 支撑该基板与该终端受动器; 判定该基板相对于该终端受动器之补偿角度;以及 绕着与该基板相关之该终端受动器旋转以补偿该 补偿角度。30.如申请专利范围第29项所述之方法, 更包含: 放置该终端受动器于靠近狭缝附近;以及 移动该终端受动器遵循平行于该狭体宽度之方向 直到该基板触发一感应器。31.如申请专利范围第 29项所述之方法,更包含遵循实质上垂直于该狭缝 之方向来移动该终端受动器直到该基板完全穿越 该狭缝。图式简单说明: 第1图展示一自动基板制程装置之具体实施例府视 图,该自动基板制程装置包括机器人替代终端受动 器,该机器人描述了和基板互动之一些位置; 第2图展示第1图终端受动器带着基板之俯视图; 第3图展示第2图可锁式装卸口前立视图,该可锁式 装卸口拥有一位在邻近接合处之终端受动器; 第4图包括第4A图至第4H图,展示一机器人移动之具 体实施例连续性俯视概略图,其中该机器人可转移 性地对准一终端受动器和多样的可锁式装卸口; 第5图包括第5A图至第5H图,展示一机器人移动之具 体实施例连续性俯视概略图,其中该机器人装载一 基板进入一可锁式装卸口,然后从另一可锁式装卸 口卸下另一基板; 第6图包括第6A图至第6H图,展示一机器人移动之具 体实施例连续性俯视概略图,其中该机器人从一卡 式盒移动一基板,然后旋转性地对准该基板并将该 基板插入一可锁式装卸口; 第7图包括第7A图至第7G图,展示一机器人移动之另 一具体实施例连续性俯视概略图,其中该机器人从 一卡式盒移动一基板,然后对准该基板并将该基板 插入一可锁式装卸口; 第8图包括第8A图至第8H图,展示第1图卡式盒装载部 分之具体实施例顶端概略图,描述从多个位置装载 晶圆; 第9图展示一可旋转位置感应器之具体实施例,该 感应器放置于终端受动器上以作为感应基板和终 端受动器间之误对准; 第10图展示一与本发明第4图之机器人连续移动具 体实施例相关之电脑软体; 第11图展示一与本发明第5图之机器人连续移动具 体实施例相关之电脑软体; 第12图展示一与本发明第6图之机器人连续移动具 体实施例相关之电脑软体; 第13图展示一与本发明第7图之机器人连续移动具 体实施例相关之电脑软体;以及 第14图展示一第9图具体实施例中,被放置于终端受 动器上可旋转位置感应器之可供选择之具体实施 例。 |
