| 发明名称 |
TRANSPORT DEVICE FOR FLAT OBJECTS AND PROCESS OF TRANSFER OF THESE OBJECTS BETWEEN THE DEVICE AND A TREATMENT APPARATUS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0892985(B1) |
申请公布日期 |
2002.07.10 |
| 申请号 |
EP19970919462 |
申请日期 |
1997.04.02 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
DOCHE, CLAUDE |
| 分类号 |
B65D85/57;B65G49/07;H01L21/673;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
B65D85/57 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
