METHOD FOR DEPOSITING NANOLAMINATE THIN FILMS ON SENSITIVE SURFACES,申请号EP20000973583-传众专利搜索

发明名称	METHOD FOR DEPOSITING NANOLAMINATE THIN FILMS ON SENSITIVE SURFACES
摘要
申请公布号	EP1221178(A1)	申请公布日期	2002.07.10
申请号	EP20000973583	申请日期	2000.10.16
申请人	ASM AMERICA, INC.	发明人	ELERS, KAI-ERIK;HAUKKA, SUVI, P.;SAANILA, VILLE, ANTERO;KAIPIO, SARI, JOHANNA;SOININEN, PEKKA, JUHA
分类号	C23C16/32;C23C16/44;C23C16/455;C30B25/02;C30B29/02;C30B29/36;C30B29/38;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768;C23C16/00	主分类号	C23C16/32
代理机构		代理人
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