| 摘要 |
<p>본 발명은 복합흡착제를 사용하여 반도체 제조 공정에서 발생되는 배기가스를 처리하는 처리방법에 관한 것으로, 그 목적은 반도체 플라스마 에칭 공정 또는 다른 제조 공정에서 배출되는 유독 가스를 제거하는 흡착식 스크러버의 흡착제 사용시간을 늘리고, 고체 부산물에 의하여 건식 스크러버가 막히지 않도록 하여 안정적인 조업을 할 수 있도록 하는 처리방법을 제공하는데 있다. 본 발명은 흡착제를 사용하여 반도체 제조공정에서 나오는 배기가스를 처리하는 건식 처리방법에 있어서, 스티렌계 이온교환수지를 알카리성 용액으로 처리한 고분자 흡착제와, 활성탄을 혼합하여 제조된 복합 흡착제를 사용하여 배기가스를 처리하는 것을 요지로 한다.</p> |
