一种集成式微型电感位移传感器及其制备方法

摘要

本发明涉及对一种电感型位移传感器的及其制备方法。包括:铁芯、线圈、被测物、基底、导磁板。在基底上通过光刻、腐蚀工艺得到凹槽;再将基底上溅射出一层导体;再次对基底进行光刻、腐蚀,使凹槽底部具有一层导电层;然后通过电铸工艺将线圈和铁芯电铸到凹槽相应的位置上;将带有线圈和铁芯的基底与导磁板固定连接,则完成集成式微型电感位移传感器的制作。由于本结构采用各部件集成式制造技术,使整体结构尺寸小,重量减轻,便于批量生产,生产效率高,一致性较好。主要用于进行微小位移测量。

主权项

1、一种集成式微型电感位移传感器，包括有：铁芯1、线圈2、被测物3，其特征在于：还包括基底4和导磁板5，铁芯1和线圈2置于基底4上的凹槽内，铁芯1在线圈2的内部，基底4同导磁板5固定连接。