含氧化剂及有机溶剂之微电子洗净组合物

摘要

本发明系关于适于清洗含有二氧化矽、低k或高k介电质及铜或铝金属镀层之微电子结构的洗净组合物，其含有一种氧化剂和一种选自醯胺、、二氢吩、硒代和饱和醇之极性有机溶剂，及视视情况使用之其他组分。