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发明名称
摘要
申请公布号 JP2002520812(A) 申请公布日期 2002.07.09
申请号 JP20000558545 申请日期 1999.07.02
申请人 发明人
分类号 C09K13/00;C23G1/06;C23G1/18;C23G1/20;G03F7/42;H01L21/02;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/311;H01L21/3213;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 C09K13/00
代理机构 代理人
主权项
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