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发明名称 Manufacturing method for semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100569534(B1) 申请公布日期 2006.04.10
申请号 KR19990014011 申请日期 1999.04.20
申请人 发明人
分类号 H01L21/764 主分类号 H01L21/764
代理机构 代理人
主权项
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