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发明名称
VACUUM CIRCUIT FOR A DEVICE FOR TREATING A RECEPTACLE WITH LOW PRESSURE PLASMA
摘要
申请公布号
KR20020053826(A)
申请公布日期
2002.07.05
申请号
KR1020027005191
申请日期
2002.04.23
申请人
发明人
分类号
H01J37/02
主分类号
H01J37/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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