用于制造快闪记忆体装置之方法

摘要

本发明提供一种用于制造快闪记忆体装置之方法，其藉由移除在一晶圆之边缘处之粒子而当预清洗一穿隧氧化膜时防止粒子在该晶圆的边缘周围散开。因此，其能够解决该穿隧氧化膜品质降低及有缺陷之图案引起的问题。