发明名称 Material zur Herstellung von Feinstrukturen
摘要
申请公布号 DE69805559(D1) 申请公布日期 2002.07.04
申请号 DE1998605559 申请日期 1998.02.19
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 发明人 ENDO, MASAYUKI;SHIRAI, MASAMITSU;TSUNOOKA, MASAHIRO
分类号 G03F7/004;G03F7/039;G03F7/20;G03F7/26;G03F7/38;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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