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经营范围
发明名称
Material zur Herstellung von Feinstrukturen
摘要
申请公布号
DE69805559(D1)
申请公布日期
2002.07.04
申请号
DE1998605559
申请日期
1998.02.19
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.
发明人
ENDO, MASAYUKI;SHIRAI, MASAMITSU;TSUNOOKA, MASAHIRO
分类号
G03F7/004;G03F7/039;G03F7/20;G03F7/26;G03F7/38;(IPC1-7):G03F7/004
主分类号
G03F7/004
代理机构
代理人
主权项
地址
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