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发明名称 Verfahren zur Herstellung von ohmschen Kontakten für eine komplementäre Halbleiteranordnung
摘要
申请公布号 DE69428399(T2) 申请公布日期 2002.07.04
申请号 DE1994628399T 申请日期 1994.06.23
申请人 MOTOROLA ENERGY SYSTEMS INC., SCHAUMBURG 发明人 ABROKWAH, JONATHAN K.;HUANG, JENN-HWA;CHO, JAESHIN
分类号 H01L21/285;H01L21/335;H01L21/8238;H01L29/45;(IPC1-7):H01L29/45;H01L21/823 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
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