发明名称 PROJECTION LENS
摘要 <p>Projektionsbelichtungsanlage sowie Projektionsobjektiv mit einer Linsenanordnung, die mindestens eine Linsegruupe (LG2) negativer Brechkraft aufweist, wobei diese Linsengruppe mindestens 4 Linsen negativer Brechfraft umfasst uns wobei in dieser Linsengruppe (LG2) nach der dritten Linse (L8) negativer Brechkraft eine Linse (L9) positiver Brechkraft angeordnet ist.</p>
申请公布号 WO2002052303(A2) 申请公布日期 2002.07.04
申请号 EP2001014846 申请日期 2001.12.15
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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