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发明名称 METHOD FOR FORMING DAMASCENE INTERCONNECTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND DAMASCENE INTERCONNECTION FABRICATED THEREBY
摘要
申请公布号 KR100712358(B1) 申请公布日期 2007.04.20
申请号 KR20050131200 申请日期 2005.12.28
申请人 DONGBU ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, HAN CHOON
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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