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发明名称 Lösung zum Ätzen von Silizium und Verfahren zum Ätzen von Silizium
摘要
申请公布号 DE19926599(C2) 申请公布日期 2002.07.04
申请号 DE19991026599 申请日期 1999.06.11
申请人 UNIVERSITAET GESAMTHOCHSCHULE KASSEL 发明人 KASSING, RAINER;MIHALCEA, CHRISTOPHE;OESTERSCHULZE, EGBERT;SCHOLZ, WENZEL
分类号 C09K13/02;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306;C23F1/24 主分类号 C09K13/02
代理机构 代理人
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