Anordnung mit abstimmbarer Kapazität und Verfahren zu deren Herstellung

摘要

Die Erfindung betrifft eine Anordnung mit abstimmbarer Kapazität mit einem elektrischen Leiter (10) und einem eine veränderbare Dielektrizitätskonstante epsilon aufweisenden ferroelektrischen Material (12), wobei die Kapazität durch Veränderung der Dielektrizitätskonstante epsilon abstimmbar ist, wobei der elektrische Leiter eine elektrisch leitende Schicht (10) ist, die von einem Substrat (14) getragen wird, die elektrisch leitende Schicht (10) eine Unterbrechung (16) aufweist und in der Unterbrechung (16) ferroelektrisches Material (12) angeordnet ist. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zum Herstellen einer Anordnung mit abstimmbarer Kapazität.