| 发明名称 |
Ultraviolet and Vacuum Ultraviolet Transparent Polymer Compositions and their Uses |
| 摘要 |
187 - 260 nm 파장의 자외선에 대해 실질적으로 투명한 부분 플루오르화된 폴리머 및 완전 플루오르화된 폴리머가 제공된다. |
| 申请公布号 |
KR20020053083(A) |
申请公布日期 |
2002.07.04 |
| 申请号 |
KR20027006274 |
申请日期 |
2002.05.16 |
| 申请人 |
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发明人 |
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| 分类号 |
G02B1/04;C08F14/18;C08F34/00;C08F214/18;C08F224/00;C08F234/02;C09J127/16;C09J127/20;G03F1/62;G03F7/004;G03F7/032;G03F7/09;H01L21/027 |
主分类号 |
G02B1/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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